글로벌 반도체 장비 업체 KLA 코퍼레이션은 새로운 웨이퍼 결함 검사 시스템인 D32, D8과 eDR7380을 출시했다고 11일 밝혔다.
이번에 출시한 제품들 모두 반도체 공정 중 웨이퍼에서 생긴 결함을 분석하기 위한 장비다.
D32 및 D8 광학 패턴 웨이퍼 결함 검사 시스템은 플라즈마 조명 기술과 센서 아키텍처를 개선하고, 반도체 칩 설계 정보를 통합한 것이 특징이다. 이 시스템은 극자외선(EUV) 노광 관련 제품 뿐 아니라, 웨이퍼에 올려진 모든 층(레이어)에 대한 검사 애플리케이션을 포함한다.
eDR7380 전자빔 웨이퍼 결함 리뷰 시스템은 칩 개발 단계에서 신속하게 결함 원인을 찾을 수 있다는 것이 특징이다. KLA 관계자는 “양산에서 더 빠르게 공정 이상을 감지하며, 더 정확한 데이터를 제공할 수 있다고”고 전했다.
이번에 선보인 시스템은 이전 세대 제품인 D30, D7, eDR7xxx에서도 업그레이드를 통해 사용할 수 있다.
KLA는 첨단 3D 낸드, D램, 로직 집적회로(IC) 출시를 앞당기는데 기여하고자 이번 제품을 출시했다고 설명했다.
아마드 칸 KLA 수석 부사장은 “디바이스 구조는 한층 복잡한 모양과 새로운 물질로 구성되고 있다”면서 “.설계와 제조과정 중 물리적인 변동과 결함을 구분해 내는 것이 점차 어려워지고 있는데, 이번 제품은 반도체 산업의 지속적 발전을 위한 혁신적이고 일관된 제품군”이라고 밝혔다.
강해령기자 kang@etnews.com
