반도체 장비부품·화학소재 전문업체 메카로는 자사 지르코늄 프리커서(전구체)인 'ZM40' 제조 기술이 특허청 주관 '2018년 상반기 특허기술상 충무공상'을 받았다고 27일 밝혔다.
특허는 '지르코늄 금속을 함유하는 신규 유기금속화합물 및 그 제조 방법'에 대한 것이다. 메카로는 국내 최초로 지르코늄 전구체 개발 양산에 성공한 바 있다.
회사 관계자는 “세계 고유전체(하이-K) 유전체 시장에서 유일한 국내 기업 특허”라면서 “기존 해외 기술보다 균일하고 우수한 물성의 박막제조가 가능하다”고 말했다. 메카로는 지난해까지 이 기술을 통해 약 1100억원의 매출을 올렸다.
메카로의 지르코늄 전구체는 D램 핵심 요소인 커패시터에 증착돼 전류 누설과 간섭을 막는다. 21나노 이하 D램 생산에 쓰이고 있다. 메카로는 미국, 중국, 일본, 대만 등 해외 고객사 확대와 제품 다양화에 역량을 집중하고 있다.
한주엽 반도체 전문기자 powerusr@etnews.com
