디스플레이 장비기업 AP시스템이 주력 분야인 레이저리프트오프(LLO)와 레이저결정화(ELA) 시장을 넘어 박막봉지(TFE)와 파인메탈마스크(FMM) 시장 진입을 노린다. 이를 위해 재료·부품 등 다양한 전문 분야 기업과 협업해 기술력을 높일 수 있는 '글로벌 연구개발(R&D) 센터'도 갖췄다.
AP시스템(대표 김영주)은 수년간 연구개발한 기술을 바탕으로 새로운 플렉시블 유기발광다이오드(OLED) 핵심 전공정 장비 사업에 진출한다고 21일 밝혔다.
AP시스템은 OLED용 박막봉지(TFE) 토털 솔루션을 개발하고 있다.
차세대 TFE 장비로 플라즈마화학기상증착(PECVD) 대신 원자층증착(ALD) 공정 장비를 내세웠다. 아직 PECVD 대비 증착 시간이 길어 상용화에 적합하지 않지만 박막에 생긴 파티클을 효과적으로 제어할 수 있어 화소 불량을 크게 줄일 수 있다. 박막 품질이 좋아지면 수만번 구부렸다 펴는 폴더블 디스플레이 등에서도 높은 신뢰성과 안정성을 구현할 수 있다. 차세대 TFE 장비 기술이 될 수 있을 것으로 기대한다.
ALD 수준의 고품질 박막을 형성하는 하이브리드 방식(Hybrid ALD-Like CVD)도 개발했다. 박막 두께와 증착 레이어를 원하는 형태로 제어할 수 있고 패널을 구부릴 때 기판에 가해지는 물리적 압력을 견고하게 버텨낸다고 분석했다. 낮은 곡률 반경을 구현할 수 있고 빛 투과율도 좋아 차세대 폴더블 디스플레이 기술에 적용할만하다고 평가했다.
김치우 AP시스템 최고기술책임자(CTO)는 “최근 TFE는 패널을 구부릴 때 발생하는 압력을 얼마나 잘 견디는지, 파티클이 잘 발생하지 않고 발생한 파티클은 얼마나 잘 제어하는지가 중요해졌다”며 “ALD는 기존 PECVD 대비 상당한 개선을 이루는 기술”이라고 설명했다.
AP시스템은 차세대 TFE 시장을 겨냥해 경기도 동탄 본사에 TFE 데모 시스템을 구축하고 'TFE 글로벌 R&D 센터'로 이름지었다. 이 센터에는 다양한 ALD와 CVD 장비 기술을 단계별 수준에 걸쳐 평가할 수 있다.
이 센터에서 TFE 관련 재료, 부품 등 다양한 기업과 함께 연구개발하고 있다. 잉크젯 프린터, 자동광학검사(AOI) 등의 장비를 함께 갖춰 관련 공정을 경험해볼 수 있다.
AP시스템은 OLED 스마트폰 해상도를 결정짓는 핵심 부품인 파인메탈마스크(FMM) 성능을 끌어올려 스마트폰에서 UHD 해상도를 구현할 수 있는 미세 레이저 기반 FMM 기술도 개발하고 있다.
레이저 기반 FMM 장비는 인바에 포토레지스트를 도포하고 UV로 마스크 패턴을 형성한 뒤 식각하는 기존 습식식각(웻에칭) 방식이나 전주도금 방식보다 인바 두께를 얇게 형성할 수 있다고 회사는 설명했다. FMM에 미세한 구멍을 뚫는 기술 등 관련 기술을 함께 개발하고 있다.
김치우 CTO는 “본사 글로벌 R&D센터에서 여러 관련 기업과 꾸준히 협업해 직면한 기술 한계를 돌파하고 함께 성장하는 게 목적”이라며 “준비 중인 기술과 제품이 새로운 성장 발판이 될 것으로 기대한다”고 말했다.
배옥진 디스플레이 전문기자 withok@etnews.com
