장비 업체 에이아이코리아가 반도체·디스플레이 세정 장비 시장을 겨냥해 중국 현지에 생산 거점을 마련했다. 특히, 유기발광다이오드(OLED) 공정에 적합한 건식 초음파 세정기(Ultra Sonic Cleaner·USC)를 새롭게 개발하는 등 공격적인 행보에 들어갔다.
에이아이코리아(대표 안진호)는 중국 잉허 그룹(YINGHE)과 중국 혜주 한·중 산업협력단지에 합작사 '싱허반도체유한공사'를 설립하고 최근 생산 설비 공장 기공식을 가졌다고 7일 밝혔다.
용지 23만㎡에 들어서는 합작사 생산 설비 완공 시점은 내년 3~4월이다. 이 회사는 중국 현지에서 반도체·디스플레이 세정 장비를 양산해 중국은 물론 국내 시장에서도 입지를 확고히 다진다.
특히, 이 회사는 상압 플라즈마 세정 장비를 상용화했지만 6세대 OLED 패널 시장에 주목하고 전 공정용·후 공정용 등 2가지 형태의 건식 USC를 개발했다. 다양한 세정 기술 제품군과 고성능으로 일본 세정 장비 업체 대비 비교우위에 설 계획이다.
이 회사 건식 USC는 0.5㎛ 미세입자까지 제거할 수 있어 미세입자 제거율이 99.9%에 달하는 게 경쟁사 대비 강점이다. OLED 공정은 미세한 입자관리가 수율 향상에 직접 영향을 미치기 때문에 세정력이 곧 OLED 생산 능력과 직결된다.
이러한 고성능 건식 USC 개발 배경은 원천기술을 확보해서다. 초음파 진동자에서 발생하는 파장이 일정한 위상과 시간차를 보이지 않고 간섭성을 유지하는 단일 종축모드 초음파 발생 기술을 개발하는데 성공했다. 경쟁업체 대비 뛰어난 간섭성을 유지한 파장은 마치 레이저 빛처럼 밀도가 높은 공기층을 직진해 유리 기판 표면 위로 띄우기조차 힘든 0.5㎛ 미세입자까지 흡입해 배출한다.
또 에이아이코리아 건식 USC는 유리 기판 손상을 최소화하는 이점도 있다. 통상 세정처리시 USC에서 나오는 파장으로 인해 유리 기판이 진동하게 되는 데, 이 때 USC와 유리 기판 간 최대 7㎜ 간격을 요구하지만 이 회사 USC는 10㎜ 간격에서도 미세 입자를 제거한다.
이외에도 이 회사는 유리 기판에 박혀 있는 미세입자도 건식 세정방식으로 제거하는 장비 개발을 진행하는 등 OLED 세정 장비 시장에서 외산 업체와 기술력으로 승부한다.
에이아이코리아 관계자는 “미세입자에 민감한 OLED 제조 공정과 향후 디스플레이 기술 흐름을 파악해 우수인력 채용 등 선행 기술 투자를 꾸준히 해왔다”며 “후 공정용 USC는 이미 납품했고 전 공정용 USC는 검증 중에 있다”고 말했다.
이 관계자는 “초기엔 대부분 국내외 디스플레이 업체들이 외산제품을 사용하는 것이 일반적이었지만 미세입자 제거 성능이 우수한 국산 USC 제품을 앞세워 외산 장비 수요를 대체하겠다”고 말했다.
안수민기자 smahn@etnews.com
