제이씨모션은 독일 하이덴하인의 초정밀 엔코더 솔루션을 국내 출시한다고 밝혔다.
엔코더는 로봇 액추에이터를 포함해 각종 산업용 장비에 들어가는 센서 일종이다. 노광기와 같은 초정밀 반도체 장비, 평판디스플레이 장비에 1나노미터(㎚)급 리니어 엔코더(선형 위치 센서·길이 측정 장비) 사용량이 증가하고 있다.
제조 공정이 고집적화 고정밀화되면서 높은 정밀성을 갖춘 센서 수요도 늘어나고 있다.
기존 반도체 노광장비는 레이저 간섭계(레이저 인터페로미터)를 활용해 노광장비 내 로봇 움직임을 인식한다. 정확성이 높지만 외부 환경에 민감하다는 단점이 있다. 이 때문에 공정이 고도화되면서 초정밀 엔코더를 채택하는 추세다.
하이덴하인은 반도체 시장에 사용하는 초정밀 엔코더 분야 세계 1위 기업이다. 반도체 노광장비에 들어가는 초정밀 리니어 엔코더를 글로벌 장비 업체에 공급한다.
하이덴하인은 열 변형이 없는 세라믹 글라스 스케일(scale)과 레이저 간섭계 원리를 이용한 스캐닝헤드(scanning head)를 이용한 초정밀 인코더 'LIP' 'LIF' 시리즈를 세계 유일하게 제조·공급한다. 평면상 2축 움직임을 동시에 센싱할 수 있는 PP, LIF 1D+ 시리즈 등 다양한 리니어 엔코더 라인업도 생산한다.
최문석 제이씨모션 기술이사는 “고객사 요청에 맞춰 특화된 초정밀 엔코더 기술 세미나 및 최적화 솔루션을 제공하고 있다”고 말했다.
오대석기자 ods@etnews.com
