PMS코리아는 내년 2월 8일부터 10일까지 서울 삼성동 코엑스에서 국제반도체장비재료협회(SEMI)가 주최하는 세미콘코리아 2017 전시회에 신규 초미세입자(파티클) 검출 장비 `켐20(Chem20)`을 전시한다고 밝혔다.
최첨단 반도체 공정에서 파티클은 수율을 떨어뜨리는 요인이다. 파티클은 공기 중에 떠다니기도 하지만 케미칼 재료 내에 포함돼 수율에 영향을 미치기도 한다. 케미칼 재료는 웨이퍼와 직접 닿기 때문에 파티클이 다량 함유돼 있다면 수율이 크게 떨어질 수밖에 없다.
켐20은 화학재료 내 20나노 크기의 파티클을 잡아낼 수 있는 장비다. 기존 제품은 검출 가능한 파티클 크기가 30나노에 그쳤다. 20나노 크기 파티클을 검출할 수 있는 장비를 상용화한 업체는 PMS가 세계에서 유일하다. 이 제품은 지난 7월 글로벌 시장에 공식 출시됐다. 해외 소자 업체를 중심으로 많은 관심을 받고 있다.
식각, 세정 등 습식(Wet) 공정에서 사용되는 벌크 화학재료인 황산, 염산, 과산화수소, 암모니아수, 물, 불산, 이소프로필알콜(IPA) 등에서 파티클을 검출할 수 있다. 장비는 화학재료가 공급되는 저장 탱크 앞단에 붙는다.
PMS가 보유한 핵심 역량은 레이저와 광학 기술이다. 켐20은 레이저를 화학재료에 조사했을 때 빛의 반사와 산란 정도를 파악하고 파티클을 검출해낸다.
PMS코리아 관계자는 “첨단 반도체 소자의 공정에선 극미량의 오염조차 품질과 수율에 큰 영향을 준다”면서 “이들을 측정, 제어하고 원인을 분석하는 것은 매우 중요하다”고 말했다.
PMS는 1972년 설립된 오염제어 기술 전문 업체다. 화학재료뿐 아니라 공기, 물, 가스 등에 함유된 미세한 오염 정도를 정확하게 측정해 고객이 만들어내는 제품 품질과 수율 향상에 기여한다. 반도체뿐 아니라 생명공학, 우주항공 분야에도 진출해 있다. 한국지사에는 영업과 지원 분야 외에도 10년 이상 경력의 엔지니어가 다수 근무하고 있다. 이들은 국내에서 제품 교정과 수리, 소프트웨어 개발과 장비 단기 대여, 측정 서비스를 지원한다.
현재 공기, 가스 오염 측정 장비 시장에선 PMS가 세계 1위다. 화학재료 분야는 2위지만, 이번에 출시한 켐20으로 세계 1위 지위에 오르겠다는 것이 회사 포부다.
한주엽 반도체 전문기자 powerusr@etnews.com
