[미래기업포커스]프라임솔루션 반도체 공정진단 금맥 캔다

프라임솔루션(대표 최석재)이 `반도체 실시간 공정진단` 분야 통합 관리 솔루션을 개발했다.

반도체 실시간 공정진단이란 생산 장비의 챔버 내에 각종 센서를 탑재, 공정 상황을 시시각각 모니터링하는 기술이다. 국내 반도체 제조업체는 생산성 향상을 위해 실시간 공정진단 도입을 추진하고 있다. 앞으로 관련 생태계가 커질 것으로 기대된다.

프라임솔루션은 VI 프로브, 광학발광분석기(OES), 자동플라즈마광학발광분석기(SPOES), 잔류가스분석기(RGA) 등 다양한 센서에서 나온 데이터를 통합 관리할 수 있는 `툴박스` 제품을 개발했다. VI 프로브는 플라즈마를 생성하는 RF 장치의 전압(V)과 전류(I)를 측정, 플라즈마 상태를 간접 파악해 챔버 내 상태를 진단한다. OES는 챔버 내에 탑재돼 플라즈마 빛 정도를 재는 센서다. 실시간으로 가스 흐름을 모니터링할 수 있다. SPOES는 챔버 배기 부위에 장착돼 외부로 배출되는 플라즈마 질을 간접 측정, 챔버 내부 상태를 확인할 수 있다. RGA는 외부에서 질소나 산소가 들어오는지 여부를 실시간 점검한다. 외부 공기가 들어올 경우 곧바로 해당 장비를 멈춰 세워서 조치하는 것이 가능하다.

홍장식 프라임솔루션 이사는 28일 “다양한 이종 센서 데이터를 융합, 설비 상태 통합 진단과 이상 감지 여부를 확인할 수 있게 했다”면서 “이 솔루션을 도입하면 생산성 향상은 물론 예상치 못한 공정 오류에 따른 위험을 크게 줄일 수 있다”고 설명했다.

센서 데이터 통합 수집, 전용 빅데이터 알고리즘을 통한 분석으로 공정 상태 관리 등 설비 지능화를 이룰 수 있다. 프라임솔루션은 툴박스 개발을 위해 국내외 공정진단 관련 센서 유수 업체와 개발 협력 관계를 맺고 데이터 전송 프로토콜 연동 작업을 완료했다.

프라임솔루션은 2000년 1월에 설립됐다. 반도체 공정제어 관련 소프트웨어(SW) 이상감지·분류기(FDC) 보급과 서비스가 주력 사업이다. FDC는 반도체 공정 장비에서 기본으로 생성되는 동작 로 데이터를 수집, 관리하는 플랫폼이다.

프라임솔루션 개요

설립연도2000년(대표 최석재)

업종제조, 소프트웨어, 무역

종업원수20명

매출액2015년 60억원

주요제품FDC, 툴박스, 공장자동화 통신, 소재 사업

한주엽 반도체 전문기자 powerusr@etnews.com