스위스계 가스 분석, 측정, 제어 장치 전문 업체인 인피콘이 국내 반도체 디스플레이 공정 진단 분야서 두각을 나타내고 있다.
10일 업계에 따르면 인피콘은 국내 반도체 디스플레이 공정장비 잔류가스분석기(RGA:Residual Gas Analyzers) 시장에서 90% 이상 점유율을 차지하는 것으로 나타났다.
인피콘 RGA는 금속 배선 공정을 수행하는 스퍼터 장비 챔버에 연결돼 가스 수치를 측정, 분석한다. 플라즈마를 이용해 증착 재료에 물리적 힘을 가하면, 웨이퍼나 디스플레이 박막트랜지스터(TFT) 기판 대상 표면에 재료 박막이 고르게 증착되는 것이 스퍼터의 작동 원리다.
스퍼터 챔버는 고진공 상태에서 동작한다. 그러나 외부에서 공기가 새 들어올 경우 금속이 산화돼 불량을 일으킬 수 있다. 인피콘 RGA는 챔버 내 가스 수치를 분석, 외부에서 질소(N2)나 산소(O2) 새어 들어오는지 여부를 실시간으로 확인할 수 있다. 외부 공기가 들어올 경우 곧바로 해당 장비를 멈춰 세워 조치를 하는 것이 가능하다.
강영귀 인피콘코리아 대표는 “공정 미세화로 웨이퍼 장당 단가가 높아졌고 이는 불량 폐기 처리시 과거보다 더 많은 비용을 치뤄야 함을 의미한다”며 “결함을 모니터링하고 이에 대응하는 일련의 과정이 중요해진 이유”라고 말했다.
강 대표는 “인피콘 RGA는 스퍼터링 공정이 수행되는 웨이퍼의 외부 공기 노출 여부를 실시간으로 확인할 수 있어 결과적으로는 칩 생산량을 최대화하고 불량에 따른 폐기 단가를 최소화한다”고 설명했다.
인피콘 RGA는 국내 반도체 디스플레이 업체로 공급된다. 누적 공급대수가 5000대를 넘는다. 인피콘 본사 매출(약 4억달러)에서 한국이 차지하는 비중은 약 10%다. 한국법인 매출 가운데 RGA 등 공정진단 분야에서만 절반가량이 나온다.
인피콘은 스퍼터 챔버 외에도 원자층증착(ALD) 장비에도 RGA가 쓰일 것으로 보고 향후 영업력을 확대해 나갈 계획이다. 아울러 플라즈마의 빛 정도를 모니터링해 가스 흐름을 측정하는 OES(Optical Emission Spectroscopy) 센서와 플라즈마 생성을 위한 전기량 측정 센서 확판을 추진해 국내 공정 진단 시장을 선도하겠다는 포부다.
업계 관계자는 “국내 반도체 디스플레이 산업계의 공정진단 역량은 `통합 시스템 구축` 측면에선 미국 등과 비교해 뒤처져 있는 것이 사실”이라며 “개별적으로 센싱된 데이터를 통합하고 전체 공정 프로세스 관리 시스템과 유기적으로 결합하는 데 초점을 맞춰 업계와 학계가 힘을 모아야 할 것”이라고 말했다.
한주엽 반도체 전문기자 powerusr@etnews.com
