한국나노기술원(원장 김희중)은 나노기술 국가경쟁력 제고와 산업발전에 기여하기 위해 설립된 비실리콘계 나노기술 연구기관이다. 연구지원 시설을 갖추고 산학연 이용자에게 첨단연구장비와 공정기술을 지원한다. 기업 장비 투자비 절감과 연구개발(R&D) 역량 강화에 기여하는 나노기술 R&D 시설·장비 공동 활용 사업과 전문 인력 양성, 연구 성과 실용화 및 창업지원이 주요 업무다.
한국나노기술원은 200여대 첨단 고가 장비를 보유하고 있다. 나노기술연구 및 산업화 지원에 활용할 수 있는 장비다. 여기에 연구 및 현장 경험이 풍부한 석·박사급 인력과 지난 2008년 중소기업청 연구 장비 공동이용 클러스터 사업 수행 경험을 바탕으로 중소기업이 첨단 고가 연구 장비를 쉽게 이용할 수 있도록 지원한다.
중소기업이 첨단 장비를 활용해 고부가가치 신기술과 신제품을 개발, 기술경쟁력을 높이고 글로벌 강소기업으로 성장할 수 있도록 지원하는 것이 목적이다.
주요 장비로는 10㎜급 E-빔 리소그래피(Lithography) 장비와 유광소자, 전자소자, 태양전지 분야 R&D 개발지원 장비 등이다. 모두 나노기술연구 및 공정지원 관련 장비다.
중소기업 나노 및 반도체 공정 개발을 지원하고, 기술 애로 사항을 해결해주는 것이 한국나노기술원 역할이다. 기업 간 연계 네트워크를 확대해 기술혁신을 촉진할 수 있도록 도와주기도 한다.
참여 중소기업을 위한 공정·품질분석 결과 정보 공유 및 공정·품질관리 시스템 지원 사업도 펼친다.
나노기술원은 △팹운영·공정관리시스템(MES) △장비이용 고객지원시스템(CSS) △통계적 품질관리(SPC) 시스템 등을 지원, 한 곳에서 모든 공정을 관리할 수 있도록 해 시간을 단축하고 경제적·기술적 장비활용이 가능하도록 도와준다.
반도체 전문 인력 양성을 위한 교육서비스와 연계해 주관기관 장비 교육 프로그램으로 직무수행능력을 습득하거나 향상시킬 수도 있다. 얼라이너·CVD·에처 등 공정장비와 FE-SEM, AFM 등 특성분석장비가 대상이다.
기술원 장비는 홈페이지에서 회원등록하면 안내받을 수 있다. 팹서비스를 비롯해 기술원에서 제공하는 서비스 전반을 조회하는 것도 가능하다.
한국나노기술원은 산업체 현장 수요를 충족시킬 수 있도록 첨단 나노장비 및 시설을 활용한 특성화된 현장 적응형 맞춤식 교육을 실시한다. 이를 통해 팹접근성을 높이고 있다.
한국나노기술원 장비를 활용하는 180여개 기업이 모여 구성한 협의체인 이용자협의회도 있다. 김희중 나노기술원장은 “경기도 나노산업혁신클러스터를 대상으로 e-메일 또는 설명회를 개최하고 있다”며 “잠재고객 발굴과 사업 확대를 위해 최선을 다하겠다”고 말했다.
김순기기자 soonkkim@etnews.com
