[이미징 장비 특집]코셈

코셈(대표 이준희)은 한국을 세계 다섯 번째 전자현미경 생산국가 반열에 올려놓은 강소기업이다.

대표 제품 주사전자현미경(SEM)은 미세 구조물 형상과 구성 성분의 조성을 정량, 정성적으로 측정할 수 있는 기기다.

기초과학 발전과 기술 혁신에 필수적인 연구 장비로서, 시료를 나노 단위로 관찰할 수 있다.

코셈은 최근까지 `CX 시리즈`와 `EM 시리즈`를 출시했다.

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코셈의 `EM-30AX`

EM 시리즈는 소형 테이블 주사전자현미경이다. 국내 최초로 30초 이내에 진공 모드에 돌입할 수 있도록 설계됐다. XY 스테이지를 자동 구동할 수 있다. 초보자도 10분 정도 간단한 교육만 받으면 광학현미경보다 더 쉽게 전자현미경 이미지를 얻을 수 있다.

코셈은 `EM-30AX`에 이어 `EM-30AX PLUS`를 출시했다.

제품은 기존 모델 장점인 SEM과 에너지분산분광기(EDS)를 통합한 시스템을 유지하면서 최대 유효 배율을 15만배까지 확대해 더욱 자세하고 뚜렷한 시료 이미지를 얻을 수 있도록 해 준다.

영국 옥스퍼드, 독일 EDAX, 미국 써모 사이언티픽의 세계적 수준 EDS 모델 중 고객이 선호하는 제품을 탑재해 주문 제작 제품으로 완성시켰다.

제품 가격은 경쟁사 대비 최대 20% 낮다.

코셈은 지난해 미국 포틀랜드에서 열린 세계 최대 규모 현미경 박람회 `마이크로스코피&마이크로애널리시스`에 국내 기업 최초로 독자 브랜드를 내세워 참가했다.

전시회에서 테이블 톱 전자현미경 `EM30 PLUS`를 출품해 호평 받았다.

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이준희 코셈 대표(왼쪽)와 연구원이 10㎚급 반도체 CVD공정 파티클 모니터링 장비를 소개했다.

10㎚급 반도체 CVD 공정 파티클 모니터링 장비도 주력 제품이다. CVD 공정 중 발생되는 입자를 하전시켜 전기장내 운동을 정확히 측정할 수 있다.

기존 레이저보다 파티클 측정 정밀도를 크게 향상시켰다. 레이저를 이용한 직접 방식은 빛 특성을 이용한 측정 방식상 한계에 부딪혀 100㎚ 이하 파티클은 측정할 수 없었다.

반도체 CVD 공정 파티클 모니터링 장비는 10㎚급까지 정밀하게 측정할 수 있고, 성분과 형상도 실시간 측정이 가능하다.

파티클 모니터링과 분석을 동시에 진행해 반도체 공정을 효율적으로 빠르게 안정화할 수 있다.

코셈은 지난해 유럽, 아시아, 아프리카, 중남미 등에 제품을 수출한데 힘입어 백만불 수출의 탑을 수상했다.

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이준희 코셈 대표

매출 성장세도 폭발적이다. 지난해 50억원에 이어 올해는 70억원대 매출을 예상하고 있다.

2018년까지 매출을 200억원대로 성장시킬 계획이다.

이준희 사장은 “올해 중국 세미콘, 아랍에미리트 아랍랩, 미국 M&M, 프랑스 EMC 전시회 등에 출품해 글로벌 마케팅을 본격화할 것”이라고 말했다.

[이미징 장비 특집]코셈

대전=신선미기자 smshin@etnews.com


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