고체도, 액체도, 기체도 아니어서 제4 물질로 불리는 플라즈마는 공정 과정에 오염물질이 유입되지 않도록 해 불량률을 줄여주는 특징이 있다.
이런 장점으로 인해 플라즈마가 가장 많이 사용되는 곳은 반도체 분야다. 플라즈마를 이용해 나노미터(㎚) 크기 회로를 만들 수 있게 되면서 스마트폰과 같은 전자기기도 나타날 수 있었다.
이 외에도 수억도 온도를 갖는 초고온 핵융합이나 의료용으로도 플라즈마가 활용되고 있다.
증권업계에서는 플라즈마 대표 기업으로는 다원시스, 에스엔텍, 주성엔지니어링 등을 꼽고 있다.
우선 다원시스는 플라즈마를 이용한 핵융합발전용 전원공급장치사업을 영위하고 있다. 다원시스는 여기서 멈추지 않고 플라즈마 의료기기 사업을 추진 중이다. 지난해 한국원자력의학원(KIRAMS)이 주관하는 의료용중입자가속기 공동개발 및 기술 사업화 투자기업으로 선정됐다. 중입자가속기는 플라즈마 방식으로 암세포를 없애는 암 치료기기로 정상세포에 미치는 영향이 거의 없고 암세포를 제거하는데 30분밖에 걸리지 않아 ‘꿈의 치료기’로 불린다.
지난해 상장한 에스엔텍은 진공플라즈마 공정 장비와 다이렉트 본딩, 초고정밀 얼라인 기술 등을 보유하고 있는 장비업체다. 이 기업은 100도 이하 저온 상태에서 플라즈마를 이용해 빠른 속도로 투명전극을 박막〃증착하는 ‘뉴플라즈마시스템(NPS)’을 개발했다.
주성엔지니어링은 지난해 공간분할 플라즈마 증착장비(SDP CVD)를 개발하고 최근에는 플라즈마화학기상증착법(PECVD) 국산화에 성공해 안정적 수익을 낼 것으로 예상되고 있다. PECVD는 플라즈마를 이용해 낮은 온도에서 물질을 쌓을 수 있는 기술이다.
주성엔지니어링은 지난해 매출이 2013년 대비 23.7% 증가한 1756억원을 기록하며 안정적인 매출 증가를 기록 중이다.
전자신문인터넷 이상원기자 sllep@etnews.com
