넥스틴(대표 박태훈)은 세계 최초의 반도체 패턴 검사 기술로 올해 매출 300억원에 도전한다. 2010년 설립 후 6년 만의 성과다. 그동안 연구개발(R&D)에 주력해 왔지만 올해 의미 있는 매출을 달성하겠다는 각오다.
넥스틴 주력 장비는 반도체 웨이퍼 패턴 결함을 검사하는 ‘이지스’와 ‘아이리스’다. 이지스는 2D, 아이리스는 3D 반도체(낸드플래시)의 패턴 결함을 검사한다.
박태훈 사장은 “3D 반도체 패턴 결함 검사 장비를 개발한 것은 우리가 세계 최초”라면서 “이 장비가 양산 체제를 갖추면 3D 낸드플래시 수율 확대에 크게 기여할 것”이라고 기대했다. 박 사장을 포함해 개발진 대부분은 글로벌 장비 업체인 KLA-텐코(램리서치가 인수)와 어플라이드머티어리얼즈에서 경험을 쌓은 전문가들이다. 기술력을 인정받아 AP시스템, 산은캐피탈 등으로부터 100억원대 투자를 끌어냈다.
웨이퍼 패턴 결함을 검사하는 원리는 첩보위성 동작 원리와 비슷하다. 첩보위성은 각 지역의 사진을 찍어 시간대별로 달라진 사항이 있는지 비교한다. 고해상도 사진 결과물을 내놓을 수 있는 광학 기술과 결과물을 비교해 차이점을 발견하는 이미지 소프트웨어 기술이 핵심이다. 웨이퍼 패턴 결함 검사 장비도 동일하다. 넥스틴의 이지스와 아이리스 장비는 자외선(UV)과 이보다 파장이 더 짧은 딥(Deep) UV를 활용, 웨이퍼 표면을 찍고 패턴 차이를 소프트웨어로 검사해 결함을 발견한다.
빛을 조사하는 방식에 따라 브라이트필드(BF:Bright Field), 다크필드(DF:Dark Field)로 나뉜다. 수직으로 빛을 쏘아 반사광으로 패턴 표면을 밝게 찍는 것을 BF, 비스듬하게 빛을 조사(사광)해 산란광으로 패턴 표면을 어둡게 찍는 것이 DF 방식이다. DF 방식은 세계 1위 검사 장비 업체 KLA-텐코 제품과 동등한 성능을 보인다. 3D 반도체 검사에 특화된 아이리스는 아직 경쟁 제품이 없기 때문에 사실상 넥스틴이 시장을 선도할 것이란 분석이다.
전 공정 웨이퍼 검사 장비 시장은 KLA-텐코가 독점한다. 국내 소자 업체는 넥스틴이 해외 독점 장비사 대항마 역할을 톡톡히 해 줄 것으로 기대하고 있다.
한주엽 반도체 전문기자 powerusr@etnews.com
