파웰코퍼레이션(대표 강창수)은 2014 세미콘 코리아 행사에서 NCC(Non Contact Chuck)와 에어 베어링 바(Air Bearing Bar)를 공개한다고 10일 밝혔다.
NCC는 반도체·디스플레이 공정 중 반송 자동화에 쓰이는 핵심 제품이다. 파웰코퍼레이션이 개발한 제품은 독자적인 비접촉 흡착기술로 안정된 부상 특성을 구현했고, 공기 소비도 적다. 소음이 적어 시장에서 좋은 반응을 얻고 있다.
에어 베어링 바도 주목할 만하다. 에어 베어링 바는 박막 유리 기판의 부상 운송에 쓰이는 제품이다. 이송 중 박막 유리가 휘는 것을 막아주며, 휘어진 유리는 교정해 준다. 즉 디스플레이용 박막 유리를 비롯해 파손되기 쉬운 판형 자재를 비접촉 방식으로 옮겨주는 역할을 한다.
강창수 사장은 “우수한 품질뿐 아니라 가격 경쟁력에도 크게 신경 썼다”며 “유리 부상 반송 시스템이 여러 공정에서 대중화될 수 있도록 노력할 것”이라고 말했다.
이형수기자 goldlion2@etnews.com
