주성엔지니어링(대표 황철주)은 반도체 제조사인 러시아 크로커스나노일렉트로닉스(CNE)에 차세대 반도체인 자기저항메모리(M램) 식각(에칭) 장비를 공급한다고 16일 밝혔다.
CNE는 M램 개발업체인 크로크스테크놀로지와 러시아 국영 해외 투자회사 러스나노가 설립한 합작사다. M램은 N극과 S극에 자성을 띤 물질을 배치해 전하가 움직이는 원리를 이용하는 메모리반도체다. 비휘발성인 플래시 메모리와 읽고 쓰는 속도가 빠른 D램의 장점을 모두 가졌다.
M램은 플래티늄, 망간, 코발트 등 기존 반도체 공정에서 쓰이지 않던 화합물 신소재를 이용한다. 이번 장비는 신소재 금속층을 제거할 수 있는 핵심 공정 설비다. 자기 금속층을 패터닝하기 위한 플라즈마 식각 공정에서 측면에 남아 있는 찌꺼기인 `폴리머`를 제거해 준다.
황철주 사장은 “CNE가 세계 최초로 M램 양산 기술을 확보할 수 있도록 지속 협력하겠다”고 말했다.
M램은 오는 2018년 세계 시장 규모가 약 1조원 이상으로 추산된다. 지금까지 연구개발(R&D) 단계에 있고, 내년 이후 본격 양산이 기대된다.
오은지기자 onz@etnews.com
