나노종합팹센터(NNFC, 소장 이귀로)는 `지속 가능한 세계 최고수준의 나노기술 연구지원기관`을 지향한다. 지난 2002년 전국 6대 나노인프라 가운데 가장 먼저 설립됐다. 국가 나노기술 R&BD 파이프라인의 허브 역할을 수행할 수 있는 국내 유일의 나노인프라다.
첨단 연구장비 210여개를 구축해 놨다. 상보형 금속 산화막 반도체(CMOS), 초미세기계가공(MEMS), 바이오, 나노신소재, 특성평가 등 분야에서 국내 최고 나노 공정 서비스를 제공한다.
지난 2011년 9100여건의 팹서비스를 지원했다. 팹 가운데 가장 많은 107억원의 팹이용 수익을 달성했고, 올해 수익은 120억원 이상이 예상된다.
NNFC는 나노기술 기초연구부터 응용연구, 시제품생산, 제품화까지 모든 연구단계를 지원하기 위한 플랫폼을 구축했다. 연구개발과 상용화, 소량생산 등의 요구에 유연하게 대응할 수 있는 공정기술을 표준화, 모듈화, 공용화했다.
품질·환경경영시스템 구축을 위한 국제표준화기구(ISO)의 표준인증도 확보했다. LTS(생산 트래킹 시스템)를 통한 팹서비스 진행정보 실시간 제공, 신속한 고객 대응을 위한 원스톱핫라인 서비스, 통합적인 기술 컨설팅을 위한 `TEC`(전문가 자문 위원회) 등을 운영 중이다.
최근 하이테스와 디스플레이용 프로브 유닛을 개발했다. 국립수산과학원과 부산대, 지노텍 등과는 초고속 휴대형 유전자 분석기, 나로람다와는 플라즈모닉 광센서 플랫폼을 개발했다.
자체 개발기술로는 `생합성 금속나노입자 제조 원천기술과 180㎚급 RF 플랫폼`을 대표적으로 꼽을 수 있다. `반도체 공정기술에 호환성인 희생막층`(SDL) 공정을 이용한 `Thin MEMS기술`은 지난해 클레어픽셀에 기술 이전했다.
이귀로 소장은 “국내 나노인프라가 세계적인 경쟁력을 갖추고 살아남기 위해서는 그에 맞는 전략이 필요하다”며 “5대 플랫폼 기술을 기반으로 NNFC만의 역량을 강화하고, 세계 최고 수준의 나노공정서비스 제공, 연구성과 사업화, 나노기술전문인력 양성을 지속적으로 추진할 것”이라고 말했다.
대전=박희범기자 hbpark@etnews.com
