관련 통계자료 다운로드 초순수 공급장치 구조개선을 통한 운영비 절감 국가 나노관련 기관이 `반짝` 아이디어 하나로 전력 소비량과 비용을 10% 이상 줄여 화제다.
국가나노인프라협의체(회장 이귀로·나노종합팹 소장)는 나노종합팹센터와 나노소자특화팹센터, 포항나노기술집적센터가 팹 공정 관리방식 개선으로 이 같은 성과를 얻었다고 29일 밝혔다.
나노종합팹은 초순수 공급장치 구조개선으로 15억원 투자비 절감과 연간 10%에 해당하는 1억9000만원 비용 절감 효과를 얻었다.
초순수는 반도체 제조공정에서 웨이퍼 표면에 붙어있는 이물질 제거에 쓰이는 물이다. 공정 특성상 초순수는 24시간 공급하지만, 연구용 팹에서는 비근무시간이 근무시간보다 길어 실제 사용량보다 버려지는 양이 2배나 많다.
연구진은 초순수 공급라인을 개선했다. 버려지는 초순수를 별도 보조탱크에 저장, 재활용하는 방안을 강구해냈다.
나노팹은 이 라인 개선으로 수도료 5600만원, 전기료 3300만원, 폐수처리비 1900만원 등 연간 1억9000만원 비용절감 효과가 발생할 것으로 예상했다.
나노소자특화팹센터가 추진한 `열 교환기를 이용한 냉수 생산` 방식으로 전력 소비량을 10% 가량 줄였다. 센터는 공정장비 온도를 일정하게 유지하는 방법으로 냉동기를 이용해 왔다. 외기 온도가 낮은 겨울철이나 환절기 등에도 가동이 불가피했다. 이에 센터 측은 냉동기 대신 열교환기로 냉수를 공급하는 방안을 찾아 겨울철 4개월간 4800만원 전기료 절감 효과를 얻었다.
열교환기 교체 방법은 나노종합팹에 전수했다. 나노종합팹은 이 방법을 도입해 연간 1억3000만원 전기료를 추가로 절감했다. 나노팹 1년 전기료는 대략 16억원가량이다.
포항나노기술집적센터는 전기실의 온도가 낮은 공기를 실외기에 통과시켜 클린룸과 연구동에 공급하는 방식으로 전기료 5000만원을 절약했다. 보일러 사용량과 냉동기 부하를 10% 가량 줄였다는 것이 박병구 특수시설팀 과장 얘기다.
이귀로 협의체 회장은 “고유가 시대 정부 에너지 절약 정책과도 잘 맞아 떨어진다”며 “향후 다양한 에너지 절약 방법을 찾아 기관 간 공유하는 일을 지속적으로 확대해 나갈 것”이라고 말했다.
국가나노인프라협의체는 교육과학기술부와 지식경제부가 부처별로 운영해온 나노 인프라 시설 6곳의 전략적 연계를 위해 지난 해 만든 조직이다. 이들 기관 간 구심체 역할을 하고 있다.
대전=박희범기자 hbpark@etnews.com
