반도체 대기업과 정부가 국내 반도체 장비 및 재료 산업 활성화를 위한 2단계 인증사업을 추진한다. 올해는 국산화 촉진을 위해 반도체 장비에 소요되는 부분품 지원까지 확대된다.
25일 지식경제부와 한국반도체산업협회는 ‘반도체 장비·재료 성능평가 사업’ 추진을 위한 과제모집에 들어갔다고 밝혔다.
삼성전자·하이닉스·동부하이텍 등 반도체 장비와 재료 수요 대기업들과 공동으로 추진하는 이번 사업은 지난해에 이은 2단계 사업이다. 관련 업체들이 개발 완료한 제품을 수요 대기업 생산라인에 직접 투입해 수율과 신뢰성을 비교 평가해 인증하게 된다.
올해는 반도체 장비 8개, 재료 3개 분야로 나눠 선정하게 되며 반도체 장비 중 포토·에치·테스트 등 6개 품목에서 부분품 항목이 확대 추가된 것이 특징이다. 지난해 12월 수요 대기업 3사 엔지니어들을 중심으로 품목도출위원회를 개최해 지원 품목을 선정한 바 있다.
이번 성능 평가 사업에서 정부 과제로 선정되면 양산 성능평가를 위해 신규로 투입되는 소모성 재료비와 유틸리티 구축 비용으로 장비는 5억원 이내, 재료와 부분품은 1억원 이내에서 지원을 받게된다. 민간과제는 수요 대기업에서 무상 지원하고 운송비 등 일부 비용은 평가신청기업에서 부담해야한다.
정부 과제는 오는 3월부터 12월까지 10개월간 평가를 진행하는 반면 민간 과제는 각 품목별로 평가 기간을 탄력적으로 운영할 방침이다.
지경부 관계자는 “장비와 재료에 한정돼 지원해오던 1단계 사업과 달리 2단계 사업에서는 부품 지원이 신설됐다”며 “일본 등 해외 의존도가 높은 부분품에 대한 지원을 강화할 경우, 반도체 장비 산업 전체 국산화를 비중을 높일 수 있는 효과가 나타날 것으로 기대된다”고 말했다.
‘반도체 장비·재료 성능평가 협력사업’은 지난 2007년부터 3년간 민간 기업 중심으로 운영되다 지난 2010년부터 정부 지원과제를 추가해 1단계 사업으로 확대됐다.
정부 지원 과제는 2010년 5개 품목에서 지난해 3개 품목이 확대돼 8개로 늘어났다. 지난해 장비와 재료 외에 3개가 추가됐으며 올해 다시 3개 품목이 늘어났다.
이 사업을 통해 2009년부터 매년 각각 13개 품목이 선정돼 대기업 양산라인에 공급되는 성과를 올렸다. 올해 2단계 사업을 완료하고 내년부터 대상 분야 등을 재정비해 새로운 지원 사업으로 전환된다.
서동규기자 dkseo@etnews.com
