일본 히타치화성이 국내 반도체 장비업체인 케이씨텍을 상대로 자사 특허를 침해했다며 미국 지방법원에 소송을 제기했다.
일본 히타치화성은 15일 케이씨텍에 대해 반도체 웨이퍼 평탄화 소재(CMP 슬러리) 관련 자사 미국 특허를 침해했다며 미국 텍사스주 오스틴 서부지방법원에 소송을 제기한다고 밝혔다.
히타치화성은 케이씨텍 CMP슬러리 ‘KCS-3100’이 자사 미국 특허권을 침해하고 있다고 판단, 지난해 6월부터 문제 해결을 위한 협의를 진행해 왔지만 합의점을 찾지 못했다고 설명했다. 히타치화성 측에서 침해를 주장하는 자사 특허권은 2건으로 ‘USP 7,115,021’과 ‘USP 7,871,308’이다.
이에 대해 케이씨텍측은 전면 대응에 나설 방침이다. 케이씨텍 관계자는 “히타치화성과는 지난해 6월이 아닌 4월부터 협의를 추진해왔으나 결렬됐다”며 “국내가 아닌 미국 법원에 제소한 명확한 이유는 아직 파악되지 않았으나 이미 글로벌 특허를 내놓은 상태이며 충분히 사전 대비를 해왔다”고 말했다.
CMP슬러리는 반도체 평탄화 공정(Chemical Mechanical Planarization)에 사용되는 연마제로, 화학적 연마와 기계적 연마를 동시에 수행해 웨이퍼 평탄도를 높이고 공정시간을 줄일 수 있는 기술이다. 케이씨텍은 반도체 및 디스플레이 업황에 따라 매출 변화가 심한 장비사업 매출 안정화를 위해 지난해부터 소재사업인 CMP슬러리 매출을 확대해왔다.
서동규기자 dkseo@etnews.com
