진공 장비 전문업체인 ATS엔지니어링(대표 김경수)은 업계 최초로 11세대 이상 LCD 및 태양광 장비에 적용 가능한 ‘진공 게이트 밸브(Vacuum Gate Valve)’를 개발, 시험 공급을 완료했다고 29일 밝혔다.
진공 게이트 밸브는 LCD, 태양광, 유기발광다이오드(OLED)용 패널 주요 공정인 식각 및 증착이 이뤄지는 진공 챔버(Chamber)를 밀폐시키는 문이다. 공정 안정성을 위해 밀폐성과 내화학성 및 내플라즈마 성질이 높고, 미세 공정에 부응하기 위해 미세먼지 생성도 억제돼야 한다. 초대면적화가 요구되는 LCD 업체 수요에 대응하기 위해 초대형(4000㎜) 문이 10초 이내에 빨리 열리고 닫혀야 해 높은 기술 수준이 요구된다.
ATS엔지니어링 측은 지난 2005년 7세대급 게이트 밸브 국산화에 성공, 일본 및 스위스 등에서 수입하던 제품을 대체해 왔다고 밝혔다. 또 계속 대형화되고 있는 진공장비 시장에 향후 5년이상 대응할 수 있는 초대형 사이즈 게이트 밸브를 개발함으로써, 차별적인 경쟁력을 확보했다고 덧붙였다.
김경수 사장은 “초대형 진공 게이트 밸브 개발을 바탕으로 내년부터 LCD, OLED 및 태양광으로 적용 범위를 확대할 계획”이라며 “합리적인 가격과 빠른 고객 서비스로 부품 국산화에 일조할 것”이라고 말했다.
LCD용 진공 게이트 밸브 시장은 올해 7000만달러(약 775억원)에 달하며 매년 4% 이상 성장할 전망이다.
양종석기자 jsyang@etnews.com
