희성금속(대표 권영제)이 나노어워드2011 대상인 국무총리상을 수상했다.
‘산화아연계 투명 도전성 스퍼터링 타깃’을 개발한 공로다.
이 소재는 LCD 및 태양전지 박막 가공을 위한 핵심 원천 소재로 평가받고 있다. 투명하고 전기를 통하는 성질을 갖고 있어, ITO(Indium Tin Oxide) 타깃을 대체할 수 있다.
스퍼터링 타깃은 LCD나 태양전지 박막을 만들 때 원소재가 정확한 곳에 스퍼터링되도록 해주는 소재를 말한다. 스퍼터링은 이온화된 원자를 박막재료에 충돌시킴으로써 박막재료 원자들이 튀어나와 원하는 표면에 붙게하는 기술이다. 그동안 투명 도전성 타깃으로 ITO 타깃이 쓰였지만 최근에는 대체 기술 개발이 활기를 띄고 있다. 원소재인 인듐(In)이 희귀자원이어서 가격이 비싼데다 중국이 희토류 생산 및 수출 제한에 나서면서 공급마저도 여의치 않을 수 있기 때문이다. 현재까지 ITO 타깃을 대체할 수 있는 소재로는 산화아연계 타깃이 주목받아왔다. 산화아연계 타깃은 투명성과 도전성 등에서 기존 ITO타깃과 가장 근접하다는 평가를 받고 있다. 그러나 저저항화, 타깃 평판 대형화(Plate Target) 및 원통형화(Cylinder Target)에서 문제점이 발견됐다. 이러한 기술적 장벽으로 국산화도 더디게 이루어졌다. 희성금속은 지경부 산업원천기술개발사업 일환으로 이 소재 국산화를 진행했다. 2007년 9월부터 5년여 동안 희성금속은 ITO타깃을 대체할 수 있는 산화아연계 타깃을 개발, 최근 양산에 들어갔다. 희성금속은 기술개발과정에서 원료 분말 나노그레이드급 제어기술, 초고분산 분말 제어 기술, 고신뢰성 독자조성 기술 및 대형 고밀도화 타깃 제조 기술 등을 확보했다. 업계에서는 이 기술개발로 LCD 분야 ITO 타깃 수급 불안정 문제를 해결하고 미래 기술을 선점할 수 있을 것으로 기대하고 있다. 유럽 및 일본 소재 업체가 장악한 태양전지 산업용 원통형 산화아연계 투명 도전성 타깃으로 국산화도 이루어지고 있다. 이미 희성금속은 태양전지 산업용 원통형 타깃은 최장 1000mmL 수준까지 대형화하는 데 성공한 바 있다.
이 회사는 향후 옥사이드 TFT용 산화물계 스퍼터링 타깃 개발까지 확대해, 산화물계 박막소재 세계 선두 업체로 성장하겠다는 계획이다.
희성금속은 지난 74년 설립이래 귀금속 소재 및 부품 국산화를 추진해왔으며 최근에는 LCD, 반도체, LED, 태양전지 분야로 사업을 확대하고 있다.
문보경기자 okmun@etnews.com
