한국표준과학연구원(KRISS, 원장 김명수)는 23일 대전본원 기술지원동에서 `제5회 반도체 공정진단 워크숍`을 개최한다.
이 워크숍에서는 극미세로 패턴화되고 있는 반도체 산업의 경쟁력 확보방안을 논의한다. 반도체 디스플레이 생산공정 모니터링과 분석, 제어, 관리 등을 위한 플라즈마 공정 진단기술에 대해 소개한다. 또 화학증착장비(CVD)ㆍ원자층증착장비(ALD) 공정, 오염원 및 펌프 등의 진단법 등에 대해 토론한다.
지식경제부 전략기술개발사업(연구책임자 KRISS 신용현 박사)으로 개발한 플라즈마, 오염입자, 기체진단 장치 등도 함께 전시한다.
진공기술센터 신용현 박사는 “반도체 공정을 실시간 모니터링하고 분석하는 진단기술은 취약한 실정”"이라며 “반도체뿐 아니라 디스플레이, 에너지 분야 등으로 워크숍 적용범위를 넓혀 갈 예정”이라고 말했다.
대전=박희범기자 hbpark@etnews.com
