LCD 생산공정에 적용할 수 있는 무전해 Ni(니켈)-W(텅스텐) 코팅기술이 국내 기업에 의해 처음 개발됐다.
제니스월드(대표 남배송)는 LCD 유리기판의 건식식각 공정에 사용되는 핵심 부품인 상부전극에 금속표면 처리기술인 무전해 Ni-W 코팅기술을 세계 처음으로 적용하는데 성공했다고 20일 밝혔다.
무전해 Ni-W 코팅기술은 용액 중에 존재하는 금속이온에 전기적인 에너지를 가하지 않고 환원제를 이용해 소재 표면에 석출시키는 도금 기법으로, 부식과 마모에 강한 것이 특징이다. 국내에서는 그동안 선박·자동차 기계류 부품에 주로 활용돼 왔다. 최근까지도 디스플레이 분야에 이 기술을 적용하려는 시도가 있었지만, 고온의 플라즈마 환경에서 적용 가능한 기술을 확보하지 못해 상용화하지 못했다.
제니스월드는 이 기술을 LCD에 적용한 결과 기존 아노다이징 피막을 사용할 때보다 균일하게 피막이 형성돼 부품의 치수 정밀도가 높아지고, 표면 부식 현상도 크게 줄일 수 있었다고 설명했다. 생산 공정에 도입할 경우 부품 사용 주기가 연장되고 제품 수율 향상 등 효과도 기대할 수 있다고 밝혔다.
남배송 제니스월드 사장은 “현재 국내 LCD 생산업체 장비를 대상으로 기술 테스트를 준비하고 있다”며 “이 기술을 기반으로 CVD, OLED, 반도체 등 부품산업으로 적용 범위를 넓혀 나갈 예정”이라고 말했다.
진천=신선미기자 smshin@etnews.com
