반도체디스플레이기술학회, `플라즈마` 주제 학술세미나 6월 개최

　반도체 장비의 기반 분야인 ‘플라즈마’를 제조공정에 접목해 효율성을 높이는 방안을 집중 조명하는 학술 세미나가 개최된다. 이번 세미나를 통해 국산화에 역점을 두고 있는 국내 반도체 장비 업계가 경쟁력을 높일 수 있는 기회가 마련될 전망이다.

　한국반도체디스플레이기술학회는 내달 2일 서울대학교 엔지니어링하우스에서 ‘2011년 춘계 학술대회’를 개최한다고 23일 밝혔다.

　이번 춘계 학술대회는 반도체 장비 개발에 필수적인 ‘플라즈마’를 주제로 프로그램을 구성해 기존 학술대회와 차별화한 것이 특징이다.

　학술대회 오전 섹션에서는 플라즈마 제조공정 진단에 대한 포럼과 방법론 등이 소개된다. 첫 섹션에서는 김곤호 서울대 교수(원자핵공학과)가 좌장으로 반도체와 디스플레이 플라즈마 제조공정 진단 개발 전략에 대한 포럼이 열린다. 이어 공정 진단용 광진단계 개발 요건과 광진 단계(OES·Optical Emission Spectroscopy)를 이용한 공정 플라즈마 진단 방법론 등이 발표된다.

　이와 함께 관련 분야를 연구하는 학생들을 대상으로 공정 플라즈마에 대한 기초 교육도 함께 진행, 저변 확산에 나선다.

　특히, 이번 학술대회에서는 국내 반도체 디스플레이 제조 산업을 이끄는 업계 대표 인물들이 대거 출동한다. 오후 섹션에 하이닉스반도체에서 연구개발과 제조를 총괄하는 박성욱 부사장이 ‘메모리 반도체의 기회와 도전’을 주제로 발표한다. 또 석준형 삼성전자 고문이 LCD의 그린테크놀로지에 대해 소개한다.

　김중조 한국반도체디스플레이기술학회장(에드워드코리아 회장)은 “이번 대회는 반도체 장비 중 80% 이상 적용되는 플라즈마에 대한 중요성을 알리는 중요한 자리”라며 “특히, 세미나와 함께 열리는 공정 플라즈마 기초교육은 관련 학문을 전공하는 학생들에게 많은 도움이 될 것”이라고 말했다.

서동규기자 dkseo@etnews.co.kr