권오현 삼성전자 사장, "장비 수급 문제 없다"

　권오현 삼성전자 사장은 31일 지식경제부의 ‘시스템반도체 중소기업 간담회’에 참석 후 최근 일각에서 제기된 장비 수급 문제에 대해 “해결 됐다”라고 밝혔다.

　반도체 공정이 미세화 되면서 핵심 장비인 리소그래피 장비 수급 차질 문제가 해결됐다는 뜻이다. 리소그래피는 반도체 회로를 사진처럼 찍어서 웨이퍼 위에 인쇄하는 공정이다. 이 공정에서는 포토 장비인 ‘이머전’ 장비 확보가 관건이다. 이머전 장비 수요는 반도체 공정이 30나노미터(nm)·20nm로 미세화 되면서 수요는 점점 늘어왔다.

　이 공정에 쓰이는 ‘이머전’ 장비는 전 세계에서 ASML·니콘·캐논 등 몇 개 업체만 판매하고 있고, ASML이 전체 시장의 60% 이상을 점유하고 있다. 이 때문에 올해 반도체 분야에만 10조3000억원을 투자하는 삼성전자가 장비를 제대로 공급받지 못할 것이라는 우려가 일각에서 제기 돼 왔다. 업계에 따르면 올해 삼성전자는 이머전 장비를 약 40대 발주한 것으로 알려졌다.

오은지기자 onz@etnews.co.kr