11세대 LCD 장비 국산화 내년부터 본격 추진

내년부터 3년간 산 · 관 · 학 공동으로 11세대 LCD 장비 국산화 프로젝트가 본격 추진된다. 플라즈마화학증착기(PECVD) · 스퍼터 · 드라이에처 등 핵심 전 공정 장비를 비롯해 9개 부문의 11세대 장비 국산화도 함께 이뤄진다.

한국디스플레이산업협회(회장 권영수)는 지난 7월 출범한 `차세대 디스플레이 장비 개발협의회`의 전략기획보고서(RFP) 및 기술로드맵(TRM) 도출 작업이 완료됐다고 28일 밝혔다.

협회는 전략기획보고서와 기술로드맵에 총 14개 연구회별로 차세대 장비 및 공정기술의 수요 및 기술 개발 로드맵을 담았다. 특히 11세대 LCD 장비는 총 9개 부문에서 기술 개발 과제와 로드맵을 도출했다. 11세대 장비는 PECVD · 스퍼터 · 드라이에처를 비롯해 △웨트(WET)장비 △코터 △셀공정장비 △검사장비 △노광기 레이저 패터닝 △로봇 등이다.

PECVD의 경우 공정 평가를 위한 프로세스 및 이송 체임버 등 개발 데모기 개발에 200억원이 소요된다. 이 같은 예산은 내년부터 8개년 사업으로 시작되는 신성장동력 장비 경쟁력 강화사업의 예산이 일부 투입된다. 이외에 11세대 장비는 모두 3개년 계획으로 기술로드맵을 도출했다.

현재 8세대 LCD 장비의 경우 국산화 비중이 70%에 육박하는 등 기초기술력은 확보된 상태다. 하지만 11세대(3000×3320㎜)는 아직 어느 업체도 시도하지 못한 초대형 양산라인이라는 점에서 업계 전체의 노력이 병행돼야 한다는 지적이다.

업계 관계자는 “대만은 물론이고 중국이 내년부터 8세대 양산을 통해 우리나라 LCD업계에 거세게 도전하고 있는 상황”이라며 “패널기업의 11세대 투자 여부가 확정되지는 않았지만, 업계 전체의 노력으로 기반 기술 확보에 나서야 할 시졈이라고 밝혔다.

협회는 29일 서울교육문화회관에서 공청회를 열어 연구회별 전략기획보고서를 발표하고 산학연 관계자들의 의견을 수렴할 예정이다. 이날 공청회에서는 지경부의 신성장동력 장비 경쟁력 강화사업이 설명되고, 패널토론을 통해 정부 예산 배정을 위한 우선순위 등이 논의될 예정이다.

양종석기자 jsyang@etnews.co.kr