난야ㆍ이노테라, 50나노 이하 공정 전환 차질

대만 메모리 반도체업체인 난야와 이노테라가 일부 핵심 장비의 납기가 지연되는 탓에 50나노 이하 공정 전환에 차질이 예상된다고 디지타임스가 26일 보도했다.

이 신문에 따르면 난야와 이노테라는 최근 ‘이멀젼 스캐닝’ 장비의 납기 연기로 50나노이하 미세 공정 전환에 어려움을 겪고 있으며, 또 다른 업체인 렉스칩도 2개월가량 장비 도입이 늦춰질 것으로 예상됐다.

난야와 이노테라는 당초 올 연말까지 마이크론의 50나노 스택 기술에 맞춰 공정을 전환하기로 하고, 하반기에는 40나노급 칩의 시 양산을 계획했다. 렉스칩의 경우 일본 엘피다의 메모리 디자인에 기반해 오는 2분기 중에 45나노급 공정에서 D램을 양산할 예정이다.

시장조사기관인 가트너는 최근 보고서를 통해 “이멀전 장비가 차세대 공정 전환에 필수적인 핵심 장비여서 올해 반도체 업체들의 설비 투자 확대에 걸림돌이 될 수 있다”고 예측한 바 있다.

서한기자 hseo@etnews.co.kr