반도체 소부장

용어설명/MOCVD

전자신문을 선호 매체로 추가

◆유기금속화학증착장비(MOCVD)=LED 에피웨이퍼 공정에 사용되는 핵심 장비다. 사파이어 웨이퍼에 금속 유기화합물을 입혀 에피웨이퍼로 성장시키는 역할을 한다. 사용되는 웨이퍼 크기에 따라 2∼6인치 타입으로 나눠진다. 큰 웨이퍼를 사용할수록 한 번 가동에 생산할 수 있는 LED칩 양이 많아져 가격경쟁력이 높아진다.

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