반도체 세정도 `친환경 바람`

　이산화탄소를 반도체 세정 공정에 활용할 수 있는 친환경 장비가 국내 처음 개발됐다.

　에이앤디코퍼레이션(대표 김재달)은 서강대 유기풍 교수팀과 함께 최근 초임계 이산화탄소 건식 세정 장비를 개발하는데 성공했다고 14일 밝혔다. 초임계란 고온·고압의 한계를 넘어 액체와 기체를 구분할 수 없는 상태의 물질이다.

　기체처럼 형태는 없지만 액체와 동일한 비중과 밀도를 지니는 등 액체와 기체의 특성을 모두 갖고 있다. 액체와 마찬가지로 불순물을 쉽게 용해하고 기체처럼 미세한 패턴의 내부 공간에 도달해 잔류물과 오염물을 제거하는 장점을 지녔다. 초임계 이산화탄소를 이용한 세정 기술이 반도체 산업에서 새로운 공정 기술로 떠오르는 이유다.

　김재달 사장은 “초임계 이산화탄소의 빠르고 안정된 주입과 밀폐, 연속적이면서도 빠른 자동개폐방식 등 그동안의 기술적 난제를 해결했다”며 “설치 공간이 작으면서도 생산량은 시간당 200매 이상을 처리할 수 있는 장비”라고 설명했다.

　이 회사가 개발한 장비는 최초 세정에 필요한 초임계 이산화탄소를 별도로 공급 받아야 한다. 하지만 한 번 쓴 이산화탄소를 곧바로 배출하지 않고 80% 가량 회수해 다시 세정에 재활용할 수 있다. 업계에 따르면 초임계 물질을 이용할 경우 현재 세정 기술(습식 세정)에 비해 약 60% 이상 에너지를 절감할 수 있는 것으로 알려졌다.

　이 회사는 이번에 개발한 초임계 이산화탄소 세정 장비 관련 국내 특허 2편과 PCT 국제 특허 2편을 각각 출원했다. 올 들어 ‘2009 에너지 신기술경진대회 우수과제’ 대상으로 선정되기도 했다. 에이앤디코퍼레이션은 지난 2001년 설립된 반도체 설비 회사로 LG이노텍·삼성전자·하이닉스 등에 제품을 공급한 바 있으며, 최근 LED 장비 분야로 사업 영역을 확대하고 있다.

　윤건일기자 benyun@etnews.co.kr