LG이노텍, 독일 엑시트론에서 MOCVD 첫 구매

　LG이노텍이 발광다이오드(LED) 칩 핵심 공정 장비인 유기금속화학증착기(MOCVD)를 전통적인 삼성LED의 협력사인 독일 엑시트론에서 처음 구매하기로 했다. 지금까지는 미국 비코의 MOCVD만 사용해왔다. 이는 최근 삼성LED의 MOCVD 구매선 다변화에 이어 또 한번의 사례로, 조만간 국내 장비 업계에도 MOCVD 공급 기회가 열릴 것으로 보여 국내외 업체간 수주 경쟁이 한층 달아오를 전망이다.

10일 업계에 따르면 LG이노텍(대표 허영호)은 독일 엑시트론사로부터 LED 칩 핵심 공정 장비인 MOCVD를 도입, 하반기중 양산라인에 투입하기로 했다. 엑시트론은 전세계 MOCVD 시장의 약 70% 를 점유한 회사로 LG이노텍의 경쟁사인 삼성LED가 그동안 주력 장비로 운영해왔다. LG이노텍 관계자는 “이달중 엑시트론의 장비를 1대 이상 발주할 예정”이라며 “향후 꾸준히 도입 물량을 늘릴 것을 적극 검토중”이라고 말했다.

이에 따라 올 상반기까지만해도 삼성LED와 LG이노텍이 각각 엑시트론과 비코에 전적으로 MOCVD 장비를 의존하던 시장 구도는 빠르게 변화할 조짐이다. 하반기이후 LG이노텍·삼성LED의 대규모 양산 투자가 예정된 가운데 해외 양사를 대상으로 교차 발주가 더욱 활발해지는 동시에, 국내 장비 업계의 MOCVD 국산화 움직임에도 가속도가 붙을 것으로 예상된다.

실제 올 들어 국내 전문 업체 가운데는 시스넥스(대표 이경하)가 이미 삼성LED에 MOCVD 장비를 공급한 바 있다. 또 MOCVD 장비 국산화 과제 사업자로 선정된 주성엔지니어링(대표 황철주)은 공동 참여 기업이자 LED 칩·웨이퍼 전문업체인 에피밸리에 오는 11월 MOCVD를 우선 납품할 예정이다.

에이디피엔지니어링(대표 허광호)도 LG이노텍과 MOCVD 장비 공동 개발 협약을 체결, 수직형 가스분사 방식의 MOCVD를 연내 공급키로 하고 개발에 박차를 가하고 있다. 이밖에 삼성전자 자회사인 세메스와 반도체·LCD 장비 협력사인 아이피에스 등도 장비 국산화를 추진중이다. 업계 관계자는 “MOCVD는 기술 장벽이 높은 고난도 장비인 것이 사실이지만, 대규모 양산 투자를 앞두고 있는 상황에서 국내 장비 업체들간의 기술 개발 경쟁을 통해 국산화 또한 생각보다 빨라질 수 있다”고 말했다.

이동인기자 dilee@etnews.co.kr