반도체 핵심 부품 기초 소재 기술 확보에 나선다

　반도체 장비·재료 분야 기업들이 핵심 부품·기초 소재 기술 확보에 적극 나섰다.

8일 업계에 따르면 탑엔지니어링·KCC·아토 등 기업들은 반도체 사업의 역량 확대를 위해 인수 합병내지는 상호 협력 등 다양한 방식으로 일본 업체들이 그동안 100% 독점해온 마이크로프로브헤드(MPH)·합성쿼츠(석영)유리 등의 핵심 부품·소재 개발을 진행키로 했다.

탑엔지니어링은 올해 세라믹 소재 전문 기업인 아이엠텍과 프로브카드의 핵심 부품인 MPH를 연내 국산화한다. MPH는 프로브카드 생산단가의 40∼50%를 차지할 정도로 핵심 부품이지만 교세라·NTK 등 일본 대기업이 독점해오고 있는 제품이다. 탑엔니지어링은 이를 위해 아이엠텍을 최근 인수합병한 가운데 조만간 MPH 국산화 전략을 발표할 계획이다.

탑엔지니어링 관계자는 “신사업팀에서 이미 MPH 관련 특허 등 기술을 확보했다”며 “MPH 설계 기술과 아이엠텍의 세라믹 공정을 결합, 연내 시제품을 출시하고 제품 승인을 받는 등 가시적인 매출을 달성하는 것을 목표로 국산화 개발을 진행하고 있다”고 설명했다.

KCC도 블랭크 마스크 전문기업인 에스앤에스텍(대표 남기수)과 협력, 블랭크 마스크의 원소재인 합성쿼츠유리 국산화를 진행하고 있다. 기상 증착법에 의해 생산하는 합성석영유리는 블랭크 마스크의 생산원가의 50% 이상 하지만 전량 시네츠 등의 일본 기업에 의존해오고 있다.

KCC는 2012년 상반기 이번 국책 과제 개발 사업을 종료한 후 국내 합성쿼츠 유리 시장 점유율 30%를 목표로 하고 있다. KCC 관계자는 “국산화로 인한 수입 대체 효과는 약 300억 원 이상으로 예상된다”며 “반도체 뿐만 아니라 폴리실리콘·광섬유·광학렌즈 등 분야의 경쟁력 향상에도 일조할 것”이라고 말했다.

이밖에 아토가 화학증착(CVD) 장비 관련 정전척·진공펌프 등 핵심 부품을 전문 부품 업체와 협력해 국산화에 성공, 일부 수입대체하는 성과를 거두는 등 수입의존도가 높은 반도체 장비·재료 분야에서 부품·기초 소재의 국산화율이 개선될 기미를 보이고 있다.

안수민기자 smahn@etnews.co.kr