국내 유일의 싱글 저압 화학기상증착(LP-CVD) 반도체장비 제조업체인 유진테크(대표 엄평용)는 삼성전자에 플라즈마 장비(모델 알바트로스) 1대를 첫 공급하기로 계약, 삼성 메모리 반도체 생산 라인에 설치한다고 22일 밝혔다.
유진테크는 특히 이번 계약 체결을 계기로 메모리 반도체 분야에서 하이닉스반도체·삼성전자 등의 매출처를 다변화하는 데 성공했다. 유진테크의 플라즈마 장비는 300∼800℃ 사이의 저온 공정으로 반도체 웨이퍼에 정교한 막을 쌓는 증착 공정의 핵심 장비로 세계적인 외산 장비 업체와 경쟁, 기술력을 인정받았다.
유진테크 엄평용 사장은 “플라즈마 장비는 초미세공정으로 진화하면서 적용공정이 폭넓은 것이 특징이고 이번 삼성전자에 납품, 국내 전 공정 장비 기술력을 입증했다”며 “해외 시장에 본격 진출한다”고 말했다. 그는 또한 “핵심 장비에 대해 투자를 끊임없이 진행한 결과 올해 반도체 산업이 불황임에도 불구하고 그 결실을 맺고 있다”고 덧붙였다.
안수민기자 smahn@etnews.co.kr
