반도체 소부장

탑엔지니어링,기판 스크라이브 장치 특허 취득

전자신문을 선호 매체로 추가

탑엔지니어링이 기판 스크라이브 장치에 대한 특허를 얻었다.

이 기술은 스크라이브 라인을 형성할 때에 교차하는 부분을 최소화함으로써 기판의 파티클 및 버르(Burr)의 발생량을 저감하고, 모기판에 형성되는 자기판이 이송 중에 패널 분리 최소화가 달성되어 픽업시 더미가 패널에 붙는 현상을 방지할 수 있는 멀티헤드 스크라이브 장치에 관한 것이다.

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