전자 부품

피에스케이, 기판처리장치 등에 대한 특허 취득

피에스케이는 배기장치 및 이를 포함하는 기판 처리장치. 그리고 배기방법 등에 대한 특허를 취득, 반도체 장비 성능 향상을 위해 활용할 계획이라고 4일 공시했다.

전자신문인터넷 장윤정 기자linda@etnews.co.kr

주요 행사 ❯

전자 많이 본 뉴스

  1. 1 “CES 전시 틀 깬다”… 삼성전자, 1400평에 'AI 미래' 제시
  2. 2 LG엔솔, 美 FBPS와 3.9조 규모 배터리 계약 해지
  3. 3 반도체공학회 “15년 뒤 0.2나노급 로직 반도체 개발”
  4. 4 노조법 해석지침에 반발…경총 “사용자 개념 과도”
  5. 5 엔비디아, AI 추론 반도체 스타트업 '그록'과 라이선스…CEO도 영입
  6. 6 다섯 손가락으로 집안일 '척척'…'LG 클로이드' CES서 첫선
  7. 7 [CES 2026]삼성전자, TV·가전 티저 영상 첫 공개
  8. 8 카메라 모듈, 2030년 71조원 시장으로…“車·로봇 수요 확대”
  9. 9 LGD, 5K2K·720㎐ OLED 공개...CES 2026에서 전시
  10. 10 SK하이닉스 “첨단산업 규제 개선, 투자 골든타임 조치”

주요뉴스

브랜드 뉴스룸