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로체시스템즈, 반도체 관련 특허취득

로체시스템즈는 비금속박판 절단장치, 기류흐름을 이용한 웨이퍼 고정장치, 위치센서를 이용한 위이퍼 센터링 방법 등 반도체 관련 특허를 취득했다고 18일 공시했다.

전자신문인터넷 조정형기자 jenie@etnews.co.kr

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