반도체·장비 성능평가 협력사업, 글로벌 `보증수표`

지식경제부(옛 산업자원부) 주도로 반도체 업체와 장비 업체의 상생협력을 위해 지난해부터 전개한 성능평가협력사업이 장비업체의 해외시장 공략에도 디딤돌 구실을 하고 있다. 성능평가협력사업은 반도체를 양산하는 라인에 반도체 생산장비와 재료 등을 넣어 실제 양산에 적용 가능하는지 여부를 인증하는 사업이다.

10일 반도체 관련 업계에 따르면 지난해 2월부터 시작된 성능평가협력사업을 통해 삼성전자·하이닉스반도체·동부하이텍 등이 뉴파워플라즈마(포토레지스터 스트립퍼)·포토레지스터(동진쎄미켐)·국제엘렉트릭코리아(성막장치)·주성엔지니어링(에처·단원자증착장비·CVD)·케이씨텍(웻스테이션) 등을 평가해 인증서를 발급했다.

반도체산업협회 관계자는 “성능평가협력사업을 통해 평가된 장비는 삼성전자·하이닉스·동부하이텍 등이 구매해 생산라인에 적용한다”며 “앞으로 3차 사업을 본격적으로 진행하면 더 많은 성과가 나올 것”으로 내다봤다.

반도체산업협회는 앞으로 성능평가협력사업을 해외 반도체 업체에도 홍보해 인증서를 받은 장비를 해외 시장에 공급할 수 있도록 지원할 계획이다.

실제로 지난해에는 주성엔지니어링이 성능평가협력사업을 통해 인증을 받은 후 대만 프로모스에 650만 달러 규모의 단원자증착(ALD)장비를 공급했다. 최근 미국·일본·싱가포르 등 해외 유수의 반도체 업체들도 국산 장비에 관심을 갖고 구매를 검토하기 시작했다.

반도체산업협회 측은 “얼마 되지 않아 아직 회신은 없지만 지난달 말 ‘인텔초청 구매정책 세미나’에 참석한 인텔 구매담당자도 성능평가협력사업에 관심을 보였고 최근에는 싱가포르 업체도 국산 장비 구매의사를 밝혔다”고 밝혔다.

반도체산업협회는 오는 17일 이스라엘의 ‘FPD&반도체 파견단’과의 1:1 상담회에서도 성능평가협력사업에 대해 설명을 할 예정이다.

주문정기자 mjjoo@