코닉시스템, LTP 관련 특허취득

코닉시스템은 자사 LTP(레이저 관련 장비) 장비에 적용할 예정인 스테이지 유니트에 대해 특허를 취득했다고 19일 공시했다.

해당 스테이지 유니트는 기판이 최종적으로 지지될 스테이지에 직접 로딩되게 되므로 기판의 크기가 아무리 대형화되더라도 기판의 로딩시 발생되는 휨 현상을 원척적으로 방지할 수 있다.

전자신문인터넷 조정형기자 jenie@etnews.co.kr