큐로스,태양전지 박막증착장비 나노센터에 공급

베스트플로우의 자회사인 큐로스(대표 정재학)가 태양전지(Solar Cell)용 박막증착 장비를 광주 나노기술집적센터에 공급한다.

큐로스는 광주 나노기술집적센터가 실시한 경쟁입찰에서 21.5억원 규모의 태양전지용 박막증착장비를 일괄 공급할 수 있는 자격을 획득했다고 밝혔다.

큐로스가 이번에 공급하게 될 장비는 실리콘 기반의 박막증착 태양전지 및 Glass에서의 박막 태양전지를 동시에 개발할 수 있는 장비로서 태양전지의 핵심공정인 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)모듈 및 전극증착용인 Sputter 와 Evaporator를 Cluster Type으로 구성되어 있다.

이 장비는 진공상태에서 태양전지 핵심공정을 순차적으로 수행할 수 있기 때문에 고효율의 태양전지를 생산할 수 있는 장점을 가지고 있다.

반도체 전공정장비에서 축적한 경험을 바탕으로 이번에 태양전지용 박막증착장비를 개발,공급 자격까지 획득하게 됨에 앞으로 이 시장에서 유리한 입지를 확보하게 됐다.

한편 광주나노기술집적센터는 반도체/디스플레이 나노공정, 장비 분야의 기술개발 지원 및 산업화를 위한 시설 및 장비구축을 목적으로 하는 핵심 국가 인프라 구축사업의 일환으로 세워졌다.

전자신문인터넷 이희영 기자 hylee@etnews.co.kr