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주성엔지니어링, 반도체장비 특허취득

주성엔지니어링은 분리형 이송 챔버 및 원자층증착장치의 가스밸브 어셈블리 등 반도체장비 관련 특허를 취득했다고 21일 공시했다.

전자신문인터넷 조정형기자 jenie@etnews.co.kr

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