에스엔유프리시젼, 에어플로팅 장치 특허

　에스엔유프리시젼(대표 박희재)는 반도체·LCD 제조공정에서 기판을 이동시키는 데 사용되는 ‘에어플로팅 장치’로 특허를 취득했다고 1일 밝혔다.

회사 측은 이 기술을 태양광 제조공정에서도 활용할 수 있으며, 평탄도를 조절하면서 기판의 간격을 미세하게 조절할 수 있다고 설명했다.

에스엔유프리시젼 측은 “이 기술로 반도체·LCD·태양광 제조시 공정상의 효율을 높일 수 있다”고 덧붙였다.

설성인기자@전자신문, siseol@