하이닉스반도체(대표 김종갑 www.hynix.co.kr)는 5일 300mm 팹인 청주 ‘M11’ 공장을 완공하고 경영진들과 협력사 대표들이 참석한 가운데 장비 반입식을 개최했다. 청주 M11 공장은 대지면적 10만8697m²에 건축면적 5만5805m² 규모로 지난해 4월 착공에 들어간뒤 지난 2월부터 클린룸을 정상 가동하기 시작했다. 하이닉스반도체는 이날 국산 고밀도플라즈마(HDP) 장비를 반입하면서 양산을 위한 본격 채비에 착수했다. M11 공장은 40나노급 초미세공정을 적용, 이르면 상반기내에 대용량 낸드플래시 제품을 주력으로 생산할 예정이다.
1단계로 오는 8월까지 월 2만장의 웨이퍼를 본격 양산하고, 시황에 따라 점진적으로 생산량을 늘려 내년부터 30나노급 미세공정까지 확대 도입하기로 했다. 내년께 약 10만장 규모의 양산능력을 갖출 계획이다.
하이닉스반도체는 M11 공장에 건설비 7500억원을 포함해 약 1조1000억원을 투자했다. 시장 상황에 맞춰 3조2000억원을 추가 투자할 계획이다. 김종갑 사장은 “M11 공장은 세계 최고의 투자 효율성을 갖춘 300mm 팹”이라며 “이로써 업계 최고의 경쟁력을 갖출 수 있게 됐으며 중장기 목표인 오는 2010년 글로벌 톱3 실현을 위한 기반을 구축했다”고 말했다. 하이닉스반도체의 M11 공장은 ‘도심 속 친환경 팹’으로 만들기 위해 대기처리장치 등 환경 관련 시설을 더욱 강화했다. 일반인들이 이용할 수 있는 ‘반도체 팹 체험 홍보관’도 운영할 예정이다.
서한기자@전자신문, hseo@
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