수율관리·설비분석을 한꺼번에

　 동부하이텍 반도체부문(대표 오영환 www.dongbuhitek.co.kr)은 23일 업계 최초로 반도체의 품질을 관리하는 수율관리시스템(YMS)과 생산설비의 오작동을 관리하는 설비분석시스템 (FDC) 등 2개의 품질 관련 설비를 통합 운영하는 신개념 생산관리시스템(DETDAS)을 구축했다고 23일 밝혔다.

동부하이텍은 그동안 별도로 운영돼 온 2개의 생산관리 시스템이 생산라인에서 실시간으로 회로 선폭·박막 두께·온도·압력 등 생산 관련 데이터를 상호 연계해 분석함으로써 품질 불량의 원인을 정확하게 찾을 수 있다고 설명했다. 최대 2∼3일 정도 걸리던 분석 시간도 30분∼1시간 이내로 단축하는 한편 불량 웨이퍼를 줄여 제조 원가를 낮추고 생산성을 높일 수 있게 됐다.

이 시스템 구축에 7개월 동안 공정개발팀과 공정관리팀·생산기술팀·시스템기술파트·제조기술팀·제조팀·제품기술팀·제품개발팀 등 품질 관련 엔지니어 60여 명과 60억원 규모의 설비투자비가 투입됐다.

동부하이텍 관계자는 “고객들에게 고품질 웨이퍼를 안정적으로 공급할 수 있게 돼 고객들이 적기에 시장에 진입할 수 있는 ‘고객 요구 적기 대응 시스템’을 완성하게 됐다”고 밝혔다.

동부하이텍은 앞으로 통합된 수율관리시스템과 설비분석시스템의 각종 품질 관련 데이터의 상관관계 분석 자료를 축적해 개별 데이터 중 최적의 상관관계를 찾아 프로세스화함으로써 공정 초기에 품질 불량 원인을 발견하고 조치할 수 있는 고효율 생산시스템을 갖춰나갈 계획이다.

주문정기자@전자신문, mjjoo@