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코닉시스템, 반도체 제조관련 3개 특허 취득

코닉시스템은 레이저 어닐링장치, 유동팁을 가지는 접촉식 자외선 조사장치, 빔덤프 등 3개 특허를 취득했다고 23일 공시했다.

코닉시스템은 이 기술들을 레이저를 이용한 실리콘결정화 장비, ODF 장비 등에 적용할 계획이다.

전자신문인터넷 조정형기자 jenie@etnews.co.kr

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