넴스프로브(대표 김용환)는 미세전자제어(MEMS) 기술을 적용한 반도체 검사장치인 멤스 프로브카드 개발에 성공했다고 12일 밝혔다.
현재 탐침(neddle) 방식과 멤스 기술을 적용한 반도체칩방식을 함께 적용한 이른바 1.5세대 프로브카드를 개발한 업체는 많으나 완벽한 멤스 프로브카드를 개발한 업체는 파이컴, 에이엠에스티, 미국의 폼팩트 등에 불과하다.
넴스프로브가 이번에 개발한 멤스 프로브카드는 200㎜ D램과 300㎜ 플래시메모리 웨이퍼에 대응이 가능하며 웨이퍼 접촉부분인 로듐 팁을 기존 피라미드 형태 대신 원기둥 모양으로 만들어 마모로 인한 수율 저하를 크게 줄인 것이 특징이다. 또 인쇄회로기판과의 접점도 경쟁업체가 3개를 사용한 반면에 1개로 줄여 정확한 전기신호 전달이 가능하며, 웨이퍼와 열팽창이 동일한 실리콘 슬롯을 사용해 검사위치를 유지할 수 있다.
넴스프로브 김용환 사장은 “멤스 기술을 이용할 경우 극미세 회로 검사가 가능해 200㎜는 물론 300㎜ 웨이퍼도 단 한번의 터치로 검사가 가능해 기존 니들 방식을 빠르게 대체할 것”이라며 “이번에 개발한 제품은 웨이퍼에 형성된 칩 하나(DUT) 단위로 조립돼 DUT 교체만으로 유지 보수가 가능해 시간과 비용을 줄이려는 업체들의 주문이 잇따를 것으로 예상된다”고 말했다.
넴스프로브는 현재 독일 키몬다. 싱가포르 ST마이크로 등으로부터 기술협력 제의를 받아 프로브카드 설계 협의를 진행 중이어서 연내 대량 수주를 기대하고 있다. 넴스프로브는 이를 통해 내년 110억원, 2010년에는 800억원대 매출을 달성한다는 목표다.
프로브카드(probe card)는 반도체 전 공정 마지막 단계에서 반도체 칩을 검사하는 장비(메인테스터)에 들어가는 바늘(neddle)의 소모성 자재로 연간 10억달러 규모의 시장이 형성돼 있다. 멤스 프로브카드는 미세전자제어기술(MEMS)을 사용해 갈수록 초미세화 되는 웨이퍼상의 반도체를 보다 정밀하고 빠르게 검사할 수 있다.
장지영기자@전자신문, jyajang@
