관련 통계자료 다운로드 하이닉스반도체 청주 M11라인 개요 하이닉스가 이달 말부터 청주에 짓고 있는 300㎜ 신설 팹(M11)에 들어가는 총 3조원대의 반도체 장비 구매에 착수한다. 특히 하이닉스는 M11 장비의 상당수를 국산장비로 충당할 계획인데다 사상 처음 경쟁사인 삼성전자의 협력업체에도 문호를 개방하기로 이미 내부 방침을 세운 것으로 알려져 국내 반도체장비업계의 비상한 관심을 모으고 있다.
◇총 규모 2조∼3조원대=하이닉스 관계자는 “아직 투자계획이 구체적으로 확정되지 않은 상태지만 양산시기를 내년 2분기로 잡고 있는만큼 10월 말부터는 공식 발주를 시작할 예정”이라며 “투자규모에 따라 달라지겠지만 300㎜ 웨이퍼 월 5만장 정도를 생산하는 데 필요한 장비를 10월과 내년 하반기 2∼3차례에 걸쳐 발주하게 될 것”이라고 말했다.
청주 M11라인은 하이닉스반도체가 처음으로 국내에 건설하는 300㎜ 팹이다. 이천 M10라인은 200㎜ 팹을 300㎜로 전환한 것이다. 따라서 M10과 달리 M11은 모든 장비를 새롭게 설치해야 하기 때문에 장비 구매 예산이 2조∼3조원, 투입되는 장비 가짓수만도 50여종을 크게 웃돈다.
◇국산 장비는 5000억원 정도=M11라인 장비 발주에 국내 장비업계의 관심이 집중되는 가장 큰 이유는 국산 비중이 어느 때보다 높을 것이라는 기대감 때문이다. 장비업계 한 CEO는 “M11라인은 장비 국산화에 매우 적극적인 김종갑 하이닉스 사장이 취임한 이후 처음으로 지어지는 팹인만큼 과거 어떤 팹보다 국산화율이 높을 것”으로 예상하며 “M10라인에서 검증된 장비는 물론이고 신생업체의 장비도 다수 채택될 가능성이 높다”고 전망했다.
하이닉스반도체는 과거 투자여건이 나쁠 때 외산 장비에 비해 상대적으로 저렴한 국산 장비를 대거 채택함으로써 투자 비용을 줄이고 장비 국산화에도 기여한 전력을 갖고 있다. 이미 이천 M10 팹의 반도체 전공정 생산에 투입된 약 50개 장비 가운데 20개 정도를 국산으로 대체해 M10 팹의 국산화율(장비기종 기준)을 40% 수준으로 높인 상태여서 M11에서는 장비 기종 기준 국산화 비중이 절반을 넘어설 가능성도 매우 높다. 이를 바탕으로 추산하면 국산 장비 발주액은 3000억원에서 5000억원 정도에 이를 것으로 예상된다.
◇삼성 장비는 얼마나=특히 관심을 끄는 것은 지금까지 삼성전자에만 납품되던 장비의 채택 여부다. 김 사장은 공개적으로 삼성전자 납품업체의 장비도 선정 대상임을 밝힌 바 있고 실제로 산·관·학·연이 공동으로 진행하는 성능평가팹 사업에서 검증되고 있는 장비를 포함, 몇몇 아이템은 선정 후보군에 들어 있는 것으로 알려지고 있다. 하이닉스의 약속대로라면 삼성이 도입한 6개의 300㎜ 팹에 장비를 납품한 삼성 협력사의 수주 가능성은 그만큼 높다는 얘기다. 하이닉스는 10월 말까지 선정 작업을 마무리해 장비 발주에 들어갈 계획으로 현재 비공개로 장비별 후보군을 압축하고 있다.
심규호기자@전자신문, khsim@
