[창간 25주년 특집(4)]내일은 우리가 주역-장비:케이씨텍

　 케이씨텍(대표 이순창 www.kctech.co.kr)은 LCD 공정 중에서도 고난도로 손꼽히는 감광액 도포 장비(디벨로퍼)를 국산화한 주인공이다. 또 LCD 전공정 핵심 장비로 평가받는 스핀리스 코터(Spinless Coater)를 최초로 국산화하는 개가도 올렸다. 케이씨텍은 이같은 장비 개발 노하우를 바탕으로 세계 디스플레이 및 반도체 장비업계 선두권에 진입한다는 중장기 계획을 수립중이다. 이미 감광액 도포 장비 등을 국산화하면서 LCD장비에서는 일본 DNS 등 선발주자와 어깨를 겨룰 정도라는 평가도 받고 있다.

　케이씨텍은 1993년 기술연구소 및 1500평 규모의 제1공장을 설립하면서 장비 제조업에 진출했다. 처음에는 디스플레이 공정에 가스를 공급하는 가스 캐비넷(Gas Cabinet)을 제작, 판매했으나 2000년 이후 에처, 디벨로퍼, 스트립, 클리닝 등의 습식 전공정에 필수적인 세정장비(Wet Station)를 개발하면서 도약을 발판을 마련했다. 특히 케이씨텍이 국산화한 스핀리스 코터는 감광물질(Photo Resist)을 증착막 위에 도포해 패턴을 형성하는 제품으로, LCD 패널 제작의 핵심 원료인 감광액(Photo Resist)의 소비를 줄일 수 있는 스핀리스 방식으로 제작돼 패널제작의 원가절감에 기여하고 있다.

케이씨텍은 앞으로 스핀리스 코터를 차세대 핵심 제품으로 지속적으로 업그레이드시킨다는 전략이다. 또 이 제품을 중심으로 크리너·디벨로퍼·오븐·로봇 등의 장비를 인라인화해 LCD 패널 생산성을 획기적으로 개선시킨 트랙 시스템 개발도 끝내고 글로벌 장비업체로 도약을 꿈꾸고 있다. 트랙 시스템은 세계적으로도 1∼2개 업체만이 개발한 제품으로 향후 시장점유율과 매출 확대에 획기적인 전기를 마련할 것으로 기대되는 제품이다. 이외에도 약액을 사용하지 않는 청정 공정으로, 폐기물 배출이 없어 향후에 더욱 각광 받을 수 있는 친환경적인 세정 장비인 CO2 세정기, 진공상태에서 사용되던 플라즈마를 상압에서도 사용 가능하도록 제작해 표면개질 성능을 획기적으로 개선시킨 상압플라즈마 세정기 등 세계 명품 장비개발에도 박차를 가할 계획이다.

CO2 세정기는 액체상태의 CO2를 자체 고안된 노즐을 통해 고체 상태인 드라이아이스로 만들어 세정대상물의 표면에 분사해 유기물과 이물을 제거하는 첨단 기술이 적용됐다. 또 상압 플라즈마 세정기 역시 이물제거 및 도금, 에칭 공정 전에 사용해 약액(Chemical)의 침투율을 증가시켜 생산수율을 향상시키는 한편 코팅이나 접착 전에 사용하면 접착력이 높아져 PCB 관련 제품 표면 처리에도 아주 유용하게 활용될 전망이다.

장지영기자@전자신문, jyajang@