[IMID 2007]장비 출품작-신성이엔지

　신성이엔지(대표 이완근 www.shinsung.co.kr)는 최근 발표한 신제품인 파티클 센싱 시스템(PSS)·미니 인바이론먼트(ME)시스템과 공정자동화시스템인 LCD 스토커·클린룸 핵심설비인 팬 필터 유닛(FFU)을 선보였다.

　이 회사는 반도체 및 디스플레이와 관련된 제품의 청정도를 제어하는 클린룸 사업과 팹 공정 자동화시스템 사업을 축으로, 국내시장에서 독보적인 성장을 거듭해 온 업체다.

　PSS(Particle Sensing System) 장비는 공기 중에 떠도는 미세 먼지(파티클)의 개수를 측정하는 장비로, 반도체·LCD 등의 초청정 클린룸 및 바이오 클린물, 식품제조 공정, 다중이용시설 등의 실시간 환경오염을 측정할 수 있는 장비다.

　신성이엔지는 FFU·에어핸들링유닛·습도조절기인 드라이 코일·에어샤워 등 초청정 상태를 유지하는 핵심설비를 제작, 생산, 설치까지 모두 제공한다.

　또 팹 공정시스템은 반도체 디스플레이 제조공정과 라인간의 물류이송을 유기적으로 연결함으로써 전체 제조시스템의 생산성을 극대화한다.

　ME 시스템은 환경 제어 및 감시· 통제가 가능한 종합시스템으로, 온습도 분포상태·압력분포·중요부분에서의 기류 속도 및 사용 재료에서 발생하는 아웃가스 등을 제어하고 최적의 상태로 구성하는 시스템이다. 이 시스템의 장점은 작업공간과 작업자를 분리시켜 클린룸 내부와 ME내부를 각각 최적의 청정도 및 기류 분포를 적용함으로써, 초기투자비 절약은 물론 운전비도 절약할 수 있다.

심규호기자@전자신문, khsim@