소디프신소재, WF6 국내특허 획득

　 반도체·LCD 공정용 특수가스 전문업체 소디프신소재(대표 하영환·조백인 www.sodiff.co.kr)는 최근 ‘고순도 육불화텅스텐(WF6)의 제조방법’으로 국내 특허를 획득했다고 7일 밝혔다.

WF6는 반도체 웨이퍼의 층과 층 사이 절연막에 신호를 전달해주는 플러그를 만드는 재료로 이번 특허는 금속 불순물을 극소량 함유한 고순도 WF6을 효율적으로 제조하기 위한 방법에 대한 것이다.

소디프신소재 측은 “반도체 배선재료에 사용되는 WF6는 높은 순도가 요구된다”며 “이 특허기술을 이용하면 제조과정에서 발생하는 불순물 농도를 크게 낮춰 이 같은 요구를 충족할 수 있다”고 밝혔다.

이 회사는 현재 연간 100톤 규모인 WH6 생산량을 두배로 늘리기 위한 증설작업을 이달 말까지 완료할 예정이다.

이정환기자@전자신문, victolee@