테크노세미켐, 3개 특허 취득

　테크노세미켐(대표 정지완 www.tscc.co.kr)은 ‘평판디스플레이의 박막 트랜지스터 형성을 위한 금속전극용 식각액 조성물’ 등 3개 특허를 획득했다고 10일 밝혔다.

이번에 취득한 식각액 조성물 특허는 평판디스플레이의 TFT를 구성하는 게이트 전극 등에 사용되는 저저항 금속배선재인 동 또는 동합금 단일막에 원하는 패턴을 형성할 수 있는 식각액 조성물에 대한 것으로 이 기술을 이용하면 기존 식각액과 달리 기판 식각현상이 없고 식각속도도 조절할 수 있어 균일한 식각이 가능하다고 테크노세미켐 측은 설명했다.

이와 함께 테크노세미켐은 △네거티브 포토레지스트용 박리액 조성물 △반도체 제조용 감광성수지 제거제 조성물 등의 특허도 취득했다.

이정환기자@전자신문, victolee@