소슬­-참앤씨 특허 법정싸움 본격화

　반도체 베벨 식각장비 특허권을 놓고 지난해부터 대립해온 소슬(대표 이희세)과 참앤씨(대표 한인수·김영렬)가 본격 법정싸움에 돌입한다.

　소슬 관계자는 29일 “소슬과 참앤씨가 반도체 베벨 식각장비 특허 침해와 관련해 서로 서울지방법원에 제기한 소송의 1차 변론기일이 30일로 잡혔다”며 “특허 침해여부가 이젠 법정에서 가려지게 됐다”고 밝혔다.

　소슬은 지난해 9월 베벨 식각장비에 사용되는 플라즈마 식각장치 등 자사의 특허 2건을 참앤씨가 침했다며 서울지방법원에 소송을 제기했고, 참앤씨는 이에 맞서 한 달 뒤 소슬이 웨이퍼 식각 및 정렬 장치 등의 특허를 침해했다고 맞소송을 제기한 바 있다.

　업계에서는 서울지방법원의 변론이 시작되면서 양사의 맞소송 결과는 이르면 8월께 윤곽을 드러낼 것으로 보고 있다.

　하지만 최근 특허심판원은 특허소송에 앞서 양사가 상대 업체를 상대로 제기한 특허무효 심판에 대해 각각 기각판정을 내린 바 있다.

　소슬 관계자는 이에 대해 “특허심판원의 판정은 특허 자체의 특허권 성립 여부를 가리는 것이지, 상대 업체의 특허 침해 여부는 법정에서 가려질 것”이라고 강조했다.

　장지영기자@전자신문, jyajang@