반도체 두께측정장비분야에서 세계 1·2위를 다투는 미국 나노메트릭스가 영국거점의 핵심 R&D 인프라를 한국으로 이전, 한국을 반도체 핵심측정장비인 300㎜ 이상급 차세대 오버레이장비를 전담하는 전략적 R&D 및 생산거점으로 육성한다.
나노메트릭스의 한국법인인 나노메트릭스코리아(대표 최종립·사진 http://www.nanometrics.co.kr)는 최근 본사가 영국의 최첨단 오버레이 관련 기술 및 생산시설을 한국으로 이전키로 결정했다고 18일 밝혔다.
이에 따라 나노메트릭스코리아는 내년 2분기까지 영국거점 인프라의 국내 이관을 마무리할 계획으로, 현재 평택공장의 확장 및 인력 확보를 서두르고 있다.
나노메트릭스는 현재 미국·영국·한국 등 3곳에 R&D·생산거점을 운영하고 있다. 이번에 영국에서 한국으로의 이관이 결정된 인프라는 반도체 제조 공정 중 포토리소그라피 공정 상의 오정렬을 측정하는 오버레이 검사설비로, 사실상 나노메트릭스의 최첨단 주력분야다. 이 장비는 수십층으로 이루어진 고집적반도체의 상하층이 정확하게 정렬돼 있는 지, 회로 연결에 문제가 없는지를 측정하는 웨이퍼 전공정장비다. 전공정 측정장비는 현재 미국·영국·일본업체들이 90% 이상의 시장을 장악하고 있다.
이 회사 관계자는 “나노메트릭스의 오버레이분야 한국 집중은 나노메트릭스코리아 공장의 관련장비 개발 능력을 본사가 인정한 것이 배경”이라며 “기술적으로 가장 까다로운 분야인 리소그라피 측정장비를 국내 제조기반에서 개발할 수 있게 돼 궁극적으로 국산화를 앞당길 수 있을 것으로 기대된다”고 말했다.
실제로 지금까지 일부 반도체 핵심장비들은 해외 장비업체 한국지사 등을 통해 국산화가 실현된 예가 많아, 이번 나노메트릭스코리아의 오버레이장비 R&D 거점화가 리소그라피 관련 장비의 국산 개발로 이어질 것으로 기대된다.
이미 나노메트릭스코리아는 300㎜ 웨이퍼용 오버레이 R&D 장비를 정부 정책사업인 ‘시스템IC2010사업’ 과제를 통해 하이닉스반도체 리소그라피팀과 공동으로 개발했으며, 조만간 양산 적용할 계획이다.
한편 반도체 두께측정장비분야에서 나노메트릭스와 경쟁을 벌이고 있는 KLA텐커도 한국시장 공세를 강화하고 있어, 내년 한국 시장에서 세계 1, 2위를 다투는 두 업체간 경쟁이 본격화될 것으로 예상된다.
심규호기자@전자신문, khsim@
